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行业资讯
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增加脱水过程能有效提高氯化氢气体的反应转化率
淄博言赫特种气体有限公司主要经营各种规格氯化氢产品，现有年产2000吨高纯氯化氢气体生产线,连续批量生产应用于单晶硅外延片制造的5N(99.999%)电子级(VLSI)氯化氢气体,以及应用于医药中间体、农药及精细化学品制造的2.8N(99.8%)化学级氯化氢气体.产品性能先进,质量稳定,处于国内领先地位,达到国际先进水平。
对氯化氢气体氧化平衡的计算和分析,提出将反应-脱水耦合技术应用于氯化氢气体氧化过程中,研究了反应-脱水耦合的模拟工艺.结果表明,公司在氯化氢气体连续氧化的过程中,增加脱水过程能有效提高氯化氢气体的反应转化率.考察了在氧气不过量情况下的多步脱水循环过程,结果显示提高二次氧化反应的温度可明显提高氯化氢气体的转化率,氯化氢的总转化率可以达到49.3%,反应混合气中氧气的体积含量低于0.2%.该混合气可直接用于有机氯化过程。
我公司所生产的电子级氯化氢气体于2003年10月通过北京市科委科技成果鉴定,获得国家授权专利,具有自主知识产权.经国内外多家半导体材料生产企业在单晶硅片气相抛光、外延基座腐蚀和硬质合金镀膜工艺中使用证明,其主要性能技术指标与国外同类产品相当。 |
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