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行业资讯
电子特气的净化愈加受到关注
返回列表    打印本页    发布时间:2014-3-31 15:14:45

    电子产品对氯化氢气体的纯度要求越来越高。电子产品是现代社会中科技发展的代表,所以对电子特气的要求越来越高。

    由于半导体和微电子技术向更高性能、更高集成度发展,对电子特气的纯度提出了越来越高的要求,电子特气的净化愈加关键和重要。目前国内的超高纯度净化技术主要依赖进口,自身的技术水准(6N)与国际先进水平(8-9N)有较大差距。本项目将设计和研发一系列高效、高容量、高选择性、低成本的新型纳米净化剂,对MO源、惰性气体、氢化物气体、反应性气体、腐蚀性气体等5个系列,50多种电子特气进行末端净化,使电子特气纯度由ppm级提高到ppb、ppt级,并将特气传输和控制系统对气体纯度的影响降至最小,从而极大地改善工艺能力,降低产品缺陷, 提高制程的产量,满足下一代半导体、微电子以及相关高技术发展的需要。本项目将形成有自主知识产权的超高纯度电子特气净化技术,解决超高纯度电子特气净化这一核心技术的国产化问题。

    以上内容由氯化氢生产厂家为您提供,要是还有什么疑问欢迎您随时来电咨询。我们生产的氯化氢气体纯度高、性质稳定,正是您生产所需的重要原料,欢迎您前来订购,我们愿与您共同发展!