电子特气应用于半导体等高科技行业
电子特气是一种纯度很高的气体,被应用在电子等高科技行业。那么具体的电子特气与其他的气体有什么不同呢?我们一起来看一下。
我公司的电子特气广泛应用于半导体、微电子和关联的太阳能电池等高科技产业,或用于薄膜堆积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗,或用作载气、维护气氛等等。
什么是电子气体? 所谓电子气体,顾名思义就是电子产品制造上的气体,它主要是指半导体制造用气.按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级,LSI(大规模集成电路)级,VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。
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