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1、  氯化氢合成系统：

     目前采用的氯化氢合成有钢炉和石墨炉两种，钢炉的压力稍高，但是不耐腐蚀，所以目前多数多晶硅厂家采用的是石墨炉。合成过后的氯化氢需要除水，可以采用的方法有硫酸干燥法脱水，吸附法脱水，深冷脱水，四氯化硅洗涤化学法除水。水分合格后的氯化氢送去合成三氯氢硅。

  三氯氢硅粗料除杂

     经过除尘后的三氯氢硅气体中有极易冷凝下来堵塞管道的物质，需要将这部分杂质除去，不然管道极易堵塞，维修量大，除杂系统应包括 3 部分，不做解释。

2、  冷凝系统

     将除杂后的三氯氢硅气体冷凝下来，一般为常压冷凝和加压冷凝连用，得到粗料。

3、  回收系统

     在未冷凝下来的气体中含有部分氯硅烷，氯化氢，大量氢气，和部分氮气（少部分厂家没有），为解决环保压力和成本问题需要将这部分物料回收，最常规的方法是变温变压吸附法回收，这个国内专业的厂家很多，不做细说。

     还有一种方法分离氢气、氯化氢、氯硅烷的方法为吸收解析法，这套工艺技术使用效果未知。